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產(chǎn)品名稱：微位移測量激光干涉儀角度擺動檢測干涉儀

產(chǎn)品型號：ZLM800

產(chǎn)品產(chǎn)地：德國

制造商：德國耶拿爾測量技術(shù)有限公司

詳細介紹:

ZLM800微位移測量激光干涉儀——雙頻激光干涉儀，主要用于微位移部件的測量，角度變化量的監(jiān)測，移動平臺運動情況的檢測，及光刻機幾何量的測量，數(shù)控機床幾何量的測量，***多可實現(xiàn)六軸聯(lián)動。具有以下性能優(yōu)勢：

l 真正意義上的雙頻激光干涉儀，兩個光束的頻差為640MHz。請用戶注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別，眾所周知雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商，德國耶拿爾公司是其中的一家。

l 全部部件皆在德國生產(chǎn)制造，絕非為了降低成本而在第三方國家進行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡，是世界上***一家將***的蔡司光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。

l 激光器壽命更長，可達20000小時，激光穩(wěn)頻精度高，一小時內(nèi)為±0.002ppm，在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達±0.02ppm。

l 干涉鏡采用差分干涉原理，系統(tǒng)精度更高，可達±0.4ppm。

l 計算機輔助光路調(diào)整，調(diào)整結(jié)果更準確。

l 采樣頻率更快，***高達1MHz，可在0.001Hz-1MHz之間進行選擇。

l 被測物體***大速度16m/s（可選）；采用高精度AE950 PCI數(shù)據(jù)處理器，分辨率達0.6nm（當移動速度為1m/s時，線性分辨率更可高達為0.1nm）。

l 無加速度限制；當光線微弱時，性能也十分穩(wěn)定。

l 信號延時<200ns；對電磁干擾不敏感。

l 對于多軸聯(lián)動的復(fù)雜光路測量和微位移測量，ZLM800型是理想的選擇。

技術(shù)參數(shù)

型號：ZLM800	使用高性能數(shù)據(jù)處理器AE950 PCI
He-Ne激光平均波長：	632.8 nm
激光穩(wěn)頻精度：	一小時2x10^-9（±0.002ppm）壽命內(nèi)2x10^-8（±0.02ppm）
系統(tǒng)精度（0-40℃時）：	±0.4ppm
光束直徑：	6mm (可選3.2mm)
激光管突發(fā)***大輸出功率：	1mW (激光等級2)
每束光可測量的軸數(shù)：	***多6個
線性測量距離：	40m，可擴展為120m
角度測量范圍：	± 15°，20m軸線范圍
平面度測量范圍：	20m行程
直線度測量范圍：	± 5mm，2m或10m行程，選用角度干涉儀可測30m行程
垂直度測量范圍：	± 5mm，2m或10m行程， 30m行程需用角度干涉儀
***大速度：	4m/s，可選16m/s 80rad/s，角速度
***大加速：	無限制
***高采樣頻率：	內(nèi)部1MHz，外部40MHz
預(yù)熱時間：	10分鐘
精度/非線性：	±0.3nm (角隅反射鏡) ±0.1nm (平面反射鏡)
距離測量分辨率：	0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選
距離測量精度： (20°±0.5°) 使用AUK時 (20°±0.5°) 真空中時	±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
線性度測量分辨率：	0.6nm (角隅反射鏡) 0.3nm (平面反射鏡) 0.1nm 可選
線性度測量精度： (20°±0.5°) 使用AUK時 (20°±0.5°) 真空中時	±0.4ppm (μ/m) ±0.08 (±0.02)ppm (μ/m)
速度測量精度：	±0.5ppm實測值
角度測量分辨率：	0.015μrad (3x10^-3弧秒)
角度測量精度：	±0.1ppm實測值
平面度測量分辨率：	0.015μrad (3x10^-3弧秒)
平面度測量精度：	±0.2%實測值 ±0.05 弧度/米運行距離
直線度測量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
直線度測量精度：	±0.5%實測值，2m行程 ± 2.5%實測值，10m行程
垂直度測量分辨率：	36nm，10m行程 7.25nm，2m行程
垂直度測量精度：	±0.5%實測值2m，± 0.5弧秒* ±2.5%實測值10m，± 0.5弧秒*
數(shù)據(jù)接口：	積分信號 32 Bit (實時時間) Dt » 20 ns
數(shù)據(jù)分析標準：	ISO230/VDI3441/VDI2617/NMTBA
工作環(huán)境：	溫度：15°C-30°C 濕度：<90%無冷凝
儲存環(huán)境：	溫度：10°C-40°C 濕度：<95%無冷凝

應(yīng)用案例

以下是為中國科學(xué)院設(shè)計的ZLM800雙頻激光干涉儀兩個應(yīng)用案例。在***個案例中，用兩個3軸角度干涉儀分別監(jiān)視兩個擺鏡的擺動，實時測試兩個擺鏡對應(yīng)量（俯仰、偏擺和位移）的差異情況。在第二個案例中，用一個3軸角度干涉儀來測試擺鏡的鏡面擺動情況，2個單軸位移干涉儀檢測一個兩軸位移平臺的運動情況。

以下是為國內(nèi)某研究所某項目設(shè)計的ZLM800測量系統(tǒng)。用戶預(yù)先把被測物體放置在密閉箱中，密閉箱留有觀察窗口。所需要測量的數(shù)據(jù)是被監(jiān)視目標Ⅰ、被監(jiān)視目標Ⅱ的X、Y向的角度變化量，以及這兩個目標在Z方向的相對變化量。

ZLM800部分光路圖示例和部件示意圖

微位移測量激光干涉儀 角度擺動檢

微位移測量激光干涉儀角度擺動檢